自2014年蘋果收購Micro LED新創公司LuxVue以來，被喻為次世代顯示技術的Micro LED從萌芽期正式進入成長期，吸引全球廠商持續投入資源研發，但由于許多技術障礙與設備限制難以克服，導致生產成本始終無法降低，Micro LED在商業化的路上仍是走走停停。

 

Micro LED制程全解析

 

Micro LED技術不只亮度與對比效果超越OLED，又具備反應迅速、低功耗與高可靠度特性，若成功導入行動裝置與汽車應用，前景可說一片看好。Micro LED制造流程繁瑣，使用的原材料、制程耗材、生產設備、檢測儀器及輔助治具等需求規格嚴謹，且精密度相對嚴格。

 

晶圓制造

 

Micro LED與LED雖同樣以磊晶硅晶圓為基礎，Micro LED磊晶需求遠比傳統LED嚴苛，由于Micro LED芯片大小不超過100微米，僅為傳統LED芯片1%，因此磊晶的波長一致性至關重要，晶圓若有不平整，可能導致芯片缺陷，增加后續制程開銷

 

不過現有的晶圓生產設備多為生產傳統LED晶圓而制，幾乎無法滿足Micro LED晶圓制作要求；再者，磊晶晶圓上的芯片制程也相當關鍵，可能影響后續的晶圓結合與轉移等制程。

 

為突破生產限制，近期已有多家磊晶制程技術MOCVD設備廠商與芯片廠合力發展Micro LED芯片，以提升芯片效率與質量，同時加速生產放量，例如AIXTRON在2019年1月宣布與臺灣錼創科技(PlayNitride)簽訂Micro LED的生產合作協議；Veeco則與德國Micro LED技術廠商ALLOS合作。

 

檢測與其他

 

檢測也是制程中的重要環節，在生產過程中必須持續檢測Micro LED芯片功能是否正常，以確保芯片效率并提高整體良率，若檢測到芯片瑕疵，則必須采用相對應的維修技術，但芯片微小化同樣加深檢測困難度，因此各設備廠商正致力研發更有效及精準的解決方案。

 

除了上述提到的挑戰，背板材質、全彩解決方案與驅動IC設計也是Micro LED顯示器的生產瓶頸，為克服技術障礙，業界廠商積極進行供應鏈的垂直整合，并締結策略聯盟，讓許多技術于2019年相繼突破出現，帶領Micro LED顯示器邁向實際應用。在Micro LED正式邁向商業化前，仍有待更創新技術發展來解決生產制程中的難題，以求降低生產成本跟加速量產速度。